用于光輻射的光源、具有用于使得由光源產(chǎn)生的光輻射通過的光學有效圖案的圖案載體、沿著輻射傳播方向設在該圖案載體下游的傾斜敏感單元、以及用于由光源產(chǎn)生的輻射入射且穿過所述圖案載體和傾斜敏感單元的透射區(qū)域,其中,所述光源為圖案載體的形式。本發(fā)明的一個優(yōu)點在于與現(xiàn)有傾斜計相比至少減少了一個組成元件,這使得可以減少制造成本并允許縮短設計。另一個優(yōu)點是在光束撞擊圖案之前省略了光束的校準。