油擴散泵是高真空系統經常使用的泵種，采取某些技術措施，可以獲得超高真空，其方法有：

1、選用性能好的擴散泵油

泵油對油擴散泵極限壓力的影響很大。如使用3號擴散泵油，其極限壓力只能達到10^-5pa;而改用275硅油，其極限壓力能達到10^-7pa，極限壓力提高2個數量級。其次被抽氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化，這就是泵油成分帶來的影響。為此用油擴散泵獲得超高真空，必須選擇性能好的擴散泵油。對擴散泵油的要求是：泵油的相對分子量要大，常溫下的蒸氣壓要低，熱穩定性和抗氧化性要好，凝固點和低溫粘度要低，要無毒，耐腐蝕，成本要低。

現在高真空油擴散泵普遍采用3號擴散泵油，超高真空采用硅油，要求不含碳氫化合物的超高真空系統，擴散泵采用氟油。

2、采用合理的烘烤技術

用油擴散泵獲得超高真空系統都要進行高溫烘烤，目的是減少材料的出氣速率。材料在大氣下都能吸收和吸附一些氣體，當處于真空中時，便產生解吸，使氣體緩慢地釋放出來，為了加速解吸，采用烘烤。

材料不同，選擇的烘烤溫度也不同。原則是溫度高一些好，可以加速出氣，但還要考慮到材料是否能經受得住高溫。烘烤溫度要選擇合適。通常金屬材料，如不銹鋼，烘烤溫度為250℃—450c;非金屬材料烘烤溫度為80℃—100℃。烘烤時間4h—8h以上。極高真空的烘烤時間在24h以上。典型金屬油擴散泵系統(烘烤后)的性能和金屬油擴散泵超高真空系統中剩余氣體組分。

凱諦牌擴散泵油有較低的飽和蒸汽壓，在蒸汽流的作用下，可以獲得較高的真空，較窄的餾分，提高了抽氣速度，降低了設備運行成本。擴散泵油優良的熱安  定性和氧化安  定性，保證了油品在泵腔內持續加熱汽化，噴射，冷卻的過程而不變質。油蒸汽遇冷迅速冷卻回流，降低擴散泵油必須在機械真空泵的配合下進行工作，使用前將擴散泵洗凈、烘干，然后把真空硅油或其它低蒸氣壓油從彎管管口注入，但不能直接往泵口里倒油，而是取一長管漏斗并插入泵口內使油從漏斗倒入泵內，以防有油積存在捕集器內。用油量可按不同規格大小而定，一般有回油管的泵，以油剛沒過回油管的下口為宜；沒有回油管的泵以剛沒過最高的一個缺口為宜。油量裝的過多或過少均會使泵的性能降低。把泵頂端的支管直接與玻璃系統焊接并用鐵架固定，彎管的出口嘴用真空橡皮管與機械泵連接，在擴散泵與機械泵之間最好加用一只安  全瓶和一只真空活塞，便于氣流控制和防護。

凱諦牌擴散泵油適用于各型號金屬或玻璃擴散泵。應用在真空鍍膜（光電、電子、裝飾）、真空冶煉等行業更出色。

注意事項

1、應密封存放，不準混入其它油類，水分和雜質；

2、換油時應對擴散泵內用120號溶劑  汽油進行清洗，然后烘干再按規定量加入擴散泵油；

3、加入新油后若極限壓強或抽氣速度達不到要求，應檢查真空系統是否漏氣，各噴嘴裝配是否正確，前級真空泵，鍋爐加熱電壓，檢測規管，儀表及導線等是否正常。

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