將表面粗糙度比較樣塊(簡稱樣塊)根據視覺和觸覺與被測表面比較,判斷被測表面粗糙度相當于那一數值,或測量其反射光強變化來評定表面粗糙度(見激光測長技術)。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊,表面經磨、車、鏜、銑、刨等切削加工,電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時可直接從工件中選出樣品經過測量并評定合格后作為樣塊。利用樣塊根據視覺和觸覺評定表面粗糙度的方法雖然簡便,但會受到主觀因素影響,常不能得出正確的表面粗糙度數值。

在實際測量中,常會遇到深孔,盲孔.凹槽,內螺紋等既不能使用儀器直接測量,也不能使用樣板比較的表面.這時常用印模法.印摸法是利用一些無流動性和彈性的塑性材料(如石蠟等)貼合在 被測表面上.將被測表面的輪廓復制成模.然后測量印模,從而來評定被測表面的粗糙度.

利用針尖曲率半徑為 2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行,金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉換為電信號,經放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數值,也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀,同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀(簡稱輪廓儀。這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機,它能自動計算出輪廓算術平均偏差Rα,微觀不平度十點高度RZ,輪廓最大高度Ry和其他多種評定參數,測量效率高,適用于測量Rα為0.025~6.3微米的表面粗糙度。

利用光波干涉原理 (見平晶、激光測長技術)將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來,并利用放大倍數高 (可達500倍)的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量,以得出被測表面粗糙度。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量Rz和Ry為 0.025~0.8微米的表面粗糙度。

光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上,以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度(圖1)。由光源射出的光經聚光鏡、狹縫、物鏡1后,以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面,形成被測表面的截面輪廓圖形,然后通過物鏡 2將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數鼓輪(圖1中未示)先讀出h值,計算后得到H 值。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量RZ和Ry為0.8~100微米的表面粗糙度,需要人工取點,測量效率低。